Search
Now showing items 1-2 of 2
Karakterisasi Optik Film LiTaO3 yang ditumbuhkan di atas Substrat Silikon Tipe-P pada Variasi Suhu Annealing.
(Bogor Agricultural University (IPB)Bogor Agricultural University (IPB), 2015)
Telah berhasil dibuat film tipis LiTaO3 di atas substrat Silikon (100) tipe-p dengan metode Chemical Solution Deposition (CSD) dan spin coating berkecepatan putar 3000 rpm selama 30 detik dalam kelarutan 1 M. Film tipis ...
Karakterisasi Optik dan Listrik Film LiTaO3 (Lithium Tantalate) pada Substrat Silikon [Si(111)] Tipe-n/n+
(IPB University, 2015)
Telah berhasil dibuat film LiTaO3 pada substrat silikon [Si(111)] tipe-n/n+
dengan variasi suhu annealing selama 8 jam pada suhu 550 oC, 575 oC, 600 oC, dan
625 oC. Metode yang digunakan yaitu Chemical Solution Deposition ...