| dc.description.abstract | Salah satu material feroelektrik yang memiliki potensi besar untuk
dikembangkan yaitu film LiTaO3. Telah berhasil dibuat film LiTaO3 dengan variasi
konsentrasi pendadah RuO2 0%, 2%, 4%, dan 6% menggunakan metode CSD
(Chemical Solution Deposition) dengan teknik spin coating berkecepatan putar
8000 rpm dan suhu annealing 850o C. Sampel dikarakterisasi menggunakan
Spektrofotometer UV-Vis, SEM, XRD, dan EDX. Sehingga didapatkan ketebalan
film pada konsentrasi pendadah 0%, 2%, 4%, dan 6% masing-masing sebesar
0.2681 μm, 0.2234 μm, 0.2234 μm, dan 0.5078 μm dengan energi bandgap sebesar
2.38 eV, 2.29 eV, 2.04 eV, dan 2.47 eV. Diperoleh nilai parameter kisi a = 5.098961
Å dan c = 14.316897 Å (0% RuO2), a = 5.065135 Å dan c = 14.058488 Å (2%
RuO2), a = 5.069937 Å dan c = 114.275256 Å (4% RuO2), serta a = 5.058727 Å
dan c = 14.253829 Å (6% RuO2) sehingga struktur kristalnya berbentuk heksagonal
(α = β = 90o dan γ = 120o) dengan ukuran kristal untuk masing-masing film sebesar
0.258 μm, 0.285 μm, 0.295 μm, dan 0.36 μm. | id |
