| dc.description.abstract | Telah dilakukan penumbuhan film litium niobat (LiNbO3) di atas substrat
Si(100) tipe-p dengan variasi molaritas menggunakan metode Chemical Solution
Deposition (CSD) berbantu spin coating berkecepatan 8000 rpm selama 30 detik
pada kemolaran 1 M, 2 M, 3 M, dan 4 M. Film di annealing pada suhu 8500C
selama 8 jam. Penentuan ketebalan lapisan tipis dengan metode volumetrik, uji
sifat optik dengan spektroskopi UV-Vis, dan struktur kristal dengan X-ray
diffraction (XRD). Hasil karakterisasi optik menunjukkan energy bandgap
LiNbO3 dengan variasi molar 1 M, 2 M, 3 M, dan 4 M berturut-turut adalah 3.22
eV, 3.17 eV, 2.45 eV, dan 3.07 eV. Pengaruh dari jumlah mol tersebut terhadap
struktur kristal dan parameter kisi film LiNbO3 diuji menggunakan X-ray
diffraction (XRD). Hasil uji berdasarkan data XRD menunjukkan bahwa sampel
film LiNbO3 merupakan kristal dengan struktur heksagonal. Pola puncak difraksi
yang dominan yaitu (104), (202), (125), dan (131) serta pola puncak lainnya yang
terindentifikasi adalah (021). Parameter kisi yang didapat berkisar antara
a=(5.6346 -6.1558) Å dan c=(17.7140-17.9122) Å. | id |
