Pengaruh Doping Mo terhadap Sifat Optik dan Elektrokromik Film Tipis WO3 degan Metode Sol-gel

Abstract

Film tipis WO3 murni dan WO3 berdoping Mo (Molibdenum) telah dideposisikan pada kaca substrat TCO dengan metode sol-gel. Film tersebut dideposisikan dengan 5 kali pelapisan menggunakan teknik spin-coating dengan kecepatan putar 3000 rpm selama 30 detik. Setiap pelapisan dipanaskan pada suhu 200 oC kemudian di annealing pada suhu 400 oC selama 3 jam. Film WO3 murni dan WO3 berdoping Mo telah dilakukan karakterisasi struktur kristal menggunakan X-Ray Diffraction (XRD), karakterisasi morfologi dan ketebalan menggunakan Scanning Electron Microscope (SEM), uji optik menggunakan spektrofotometer UV-VIS, dan uji elektrokromik dengan memberikan beda potensial antara elektroda kerja dan elektroda konter yang menggunakan elektrolit H2SO4 1 M. Hasil XRD menunjukkan bahwa penambahan Mo pada film tipis WO3 mengakibatkan penambahan nilai parameter kisi dan struktur yang terbentuk untuk semua film yaitu monoklinik. Morfologi film tipis WO3 murni terlihat lebih kasar daripada film tipis WO3 berdoping Mo. Penambahan Mo pada film tipis WO3 menyebabkan penurunan nilai energi celah pita dan peningkatan nilai efisiensi pewarnaan.