| dc.description.abstract | Telah diteliti sifat kristal dan sifat listrik film litium tantalat silikat (LiTaSiO5) terhadap variasi suhu serta waktu annealing. Hasil karakterisasi XRD film pada suhu annealing 850oC, 900oC selama 8 jam dan 15 jam menunjukkan adanya perubahan struktur kristal litium tantalat (LiTaO3) rhombohedral menjadi LiTaSiO5 monoclinic. Hasil karakterisasi konduktivitas listrik menunjukkan bahwa film LiTaSiO5 adalah material semikonduktor dilihat dari nilai konduktivitas listrik yang diperoleh berkisar antara (10-7 sampai 10-5) S/cm. Hasil karakterisasi konstanta dielektrik diperoleh nilai konstanta dielektrik LiTaSiO5 berkisar antara 1,99 sampai 36,74. Hasil karakterisasi menunjukkan pada suhu 850°C dan 900°C selama waktu annealing 8 jam menghasilkan film LiTaSiO5 yang lebih baik karena memiliki derajat kristalinitas, nilai konduktivitas listrik dan konstanta dielektrik yang lebih tinggi dibandingkan dengan waktu annealing 15 jam. | en |
