Browsing Basic Research (Penelitian Dasar) by Author "Darmasetiawan, Hanedi"
Now showing items 1-1 of 1
-
Pengaruh Suhu Annealing pada Film Tipis Tantalum Oksida (Ta2o5) yang Ditumbuhkan dengan Metode Spin Coating
Darmasetiawan, Hanedi | Irzaman (2003)Film tipis tantalum oksida telah berhasil ditumbuhkan pada substrat Si (100) dengan proses penumbuhan larutan kimia pada 0,5 M larutan Ta2O5 dan dilanjutkan dengan spin coating pada kecepatan putar 2000 dan 3000 rpm selama ...