| dc.description.abstract | Hasil uji ferroelektrik menunjukkan bahwa semua sampel memiliki sifat ferroelektrik. Suhu annealing mempengaruhi nilai polarisasi remanen dan medan koersif sampel. Semakin tinggi suhu annealing maka nilai polarisasi remanen dan medan koersifnya akan semakin kecil karena ukuran butir yang semakin kecil. Suhu annealing memberikan pengaruh yang dominan terhadap nilai medan koersif dan polarisasi remanen. Hal ini karena semakin tinggi suhu annealing , semakin besar grain size yang dihasilkan menyebabkan medan koersif dan polarisasi remanennya sampel akan semakin tinggi. Suhu annealing yang terlalu tinggi juga dapat menyebabkan sampel men galami kerusakan yang mengakibatkan menurunnya nilai medan koersif dan polarisasi remanen sampel. Sampel film yang ditumbuhkan pada substrat Pt(200)/SiO2/Si(100), penambahan bahan pendadah menjadikan nilai medan koersif dan tegangan jatuh (breakdown volatge) film meningkat. Sedangkan untuk substrat Si(100) tipe-p, penambahan bahan pendadah tidak terlihat jelas karena sampel telah mengalami kerusakan. | en |
