Search
Now showing items 1-1 of 1
Uji Sifat Listrik Film Tipis Ferroelektrik Litium Tantalat (LiTaO3) Didadah Niobium Pentaoksida (Nb2O5) Menggunakan Metode Chemical Solution Deposition
(2010)
Telah dilakukan penumbuhan film tipis LiTaO3 (LT) dan LiTaO3 yang didadah Niobium Pentaoksida Nb2O5 (LNT) dengan variasi pendadah 2,5%, 5%, dan 7,5% diatas substrat Si (100) tipe-p dengan menggunakan metode chemical solution ...