Search
Now showing items 1-1 of 1
Karakterisasi Film SrTiO3 terhadap Variasi Pendadah RuO2 dan Kecepatan Putar dengan Metode Chemical Solution Deposition
(Bogor Agricultural University (IPB), 2018)
Telah berhasil dibuat film SrTiO3 terhadap variasi konsentrasi pendadah RuO2 0%,
2%, 4%, dan 6% dan variasi kecepatan putar (rpm) diatas substrat silikon tipe-p (100),
menggunakan metode Chemical Solution Deposi dengan ...