Perancangan dan pembuatan alat deposisispin coater

Abstract

Spin Coating adalah salah satu metode pelapisan bahan dengan cara memutar substrat yang akan dilapisi dengan laju putar tertentu selama waktu tertentu. Metode ini menggunakan bahan pelapis dalam bentuk sol atau gel. Beberapa kelebihan metode spin coating dibandingkan metode-metode lainnya yaitu peralatan yang dibutuhkan relatif sederhana (tidak rumit), waktu pengolahan yang singkat, hemat energi, polusi udara minimal, tidak bereaksi dengan wadah, dan biaya yang relatif murah. Parameter utama metode spin coating adalah laju putar substrat dan lama waktu pemutaran substrat. Dengan alat deposisi spin coater dua parameter ini dapat diubah-ubah sesuai dengan kebutuhan. Penelitian ini bertujuan merancang dan membuat alat deposisi yang menggunakan metode spin coating dengan titik berat pada rekayasa sistem kontrol waktu dan laju putar. Untuk itu penelitian dilakukan melalui beberapa tahapan yaitu mulai dari pembuatan diagram blok fungsional, pembuatan skema rangkaian, pengujian skema rangkaian, kalibrasi, dan pembuatan PCB serta kotak alat. Fokus penelitian ini adalah bagaimana cara memvariasikan laju putar dan lama waktu pemutaran melalui suatu perangkat elektronik dan mekanik. Alat deposisi spin coater yang berhasil dibuat memiliki spesifikasi sebagai berikut: waktu maksimum 999 detik atau 999 menit dan kecepatan maksimum 12000 RPM. Ketepatan rata-rata timer pada pengujian secara independen sebesar 99,953% untuk satuan detik dan 97,951% untuk satuan menit. Sedangkan pada pengujian secara kontinyu, ketepatan rata-rata timer 99,975% untuk satuan detik dan 99,843% untuk satuan menit. Ketepatan rata-rata tachometer pada kecepatan 4020 RPM hingga 8040 RPM sebesar 99,566%. Pengujian kestabilan motor menghasilkan ketelitian 99,503% pada kecepatan 4270 RPM, dan 98,836%, 99,763%, 99,273%, 99,677% pada kecepatan 5260, 6110, 7200, 8230 RPM.