Karakteristik Piezoelektrik Film LaxSr₁-xTiO3 di atas Substrat TCO
Abstract
Studi material perovskite SrTiO3 sudah banyak dilakukan dan menunjukkan
sifat feroelektrik, piezoelektrik, kuantum paraelektrik dan superkonduktor yang
baik. Dengan penambahan dopant La2O3 diduga menambah performa sifat piezo
dan karakteristik lainnya. Karakteristik film LaxSr₁-xTiO3 (LST) dengan variasi x=
0, 0.02, 0.04, 0.06 terbentuk pada suhu annealing 550 oC di atas substrat TCO
melalui metode (Chemical Solution Deposition) CSD dan spin coating dengan 700
rpm pada kondisi suhu ruang dan tekanan atmosfer standar. Hasil menunjukkan,
semakin banyak pendadah La maka nilai ketebalan film, ukuran rerata kristalit,
parameter kisi, transmitansi, nilai konduktivitas (maksimum 589.7 S/cm pada
sampel x=0.04 di frekuensi 10 Hz), nilai konstanta tegangan (c) dan muatan (d)
piezo semakin meningkat. Dinamika bentuk grafik nilai tegangan (V) dan
konstanta regangan mekanik (s) nampak mirip. Nilai V mencapai 0.127 V untuk
x=0.06 (beban 50 g). Nilai maksimum c, d, s masing-masing mencapai 20.07
Vm/N, 1.14x10-8 C/N, 13642.71. Nilai band gap untuk x=0, 0.02, 0.04, 0.06
masing-masing 3.21 eV, 3.1 eV, 2.6 eV, 2.4 eV. La2O3 menambah performa sifat
piezo, sehingga LST berpotensi sebagai sensor tekanan.
Collections
- UT - Physics [1068]