Pembuatan Film Tipis Barium Stronsium Titanat Didadah dengan Cerium dan Analisis Rietveld Menggunakan MAUD

Abstract

Film tipis Barium Stronsium Titanat (BaSrTiO3/BST) dengan larutan 1 M telah berhasil di sintesis di atas substrat Si (100) tipe p dengan metode Chemical Solution Deposition (CSD) melalui spin coating dengan kecepatan putar 8000 rpm. Film BST di annealing pada suhu 8500C selama 8 jam. Karakterisasi sifat optik dilakukan terhadap film BST murni dan dengan konsentrasi pendadah Cerium Oksida (CeO2) sebesar 0%, 2%, 6%. Hasil penelitian menunjukan bahwa nilai bandgap tidak cukup baik namun film BST murni dengan konsentrasi pendadah Cerium Oksida (CeO2) 4% menghasilkan nilai bandgap yang mendekati nilai literatur sebesar 3.10 eV. Berdasarkan analisis Rietveld dengan menggunakan Material Analysis Using Diffraction (MAUD) didapatkan bahwa BST murni dan pendadah memiliki struktur kristal berbentuk kubus dengan parameter kisi berturut-turut sebesar 4.05437 Å; 4.059837 Å ; 4.06175 Å ;4.065212 Å, dan rata-rata ukuran kristalnya sebesar 588.7530, 588.5976, 475.4838, 843.7147 dalam satuan Å.