PEMBUATAN SENSOR GAS H2S BERBASIS POLYANILINE FIELD EFFECT TRANSISTOR (PFETs) DENGAN METODE CASTING

Abstract

Telah dibuat sensor gas H2S berbasis Field Effect Transistors dengan poliainilin (PANI) sebagai lapisan aktif sensor. Lapisan PANI ditumbuhkan di atas bahan dielektrik (SiO2) dengan metode casting. Lapisan dielektrik diuji sifat optiknya untuk melihat kebaradaan lapisan tersebut sebagai salah satu penyusun sensor. Sensor diuji secara elektrik untuk melihat karakteristik efek medan dan sensitivitasnya terhadap gas H2S. Arus drain semakin meningkat dengan meningkatnya tegangan gate negatif. Interakasi sensor dengan H2S ditunjukkan dengan semakin meningkatnya arus drain ketika konsentrasi gas H2S ditingkatkan