Pembuatan dan Karakterisasi Film Litium Tantalat (LiTaO3) terhadap Variasi Suhu dan Waktu Annealing

Abstract

Pada penelitian ini telah berhasil ditumbuhkan film LiTaO3 murni dengan ketebalan film berkisar antara 1,07-3,80 m di permukaan substrat Si (100) tipe-p. Penumbuhan film LiTaO3 dibuat dengan menggunakan metode chemical solution deposition (CSD) dengan teknik spin coating pada suhu annealing 800 oC, 850 oC, 900 oC selama 1 jam, 8 jam, 15 jam dan 22 jam. Karakterisasi arus-tegangan dan sifat optik dilakukan terhadap variasi suhu dan waktu annealing. Hasil karakterisasi arus-tegangan menunjukkan bahwa film LiTaO3 dapat dijadikan sebagai fotodioda dan sensor warna dilihat dari perbedaan nilai arus pada kondisi gelap-terang serta menggunakan filter merah, kuning dan hijau. Energi bandgap dari pengukuran karakterisasi optik berkisar antara 2,62-3,43 eV. Berdasarkan hasil karakterisasi arus-tegangan dan optik, film LiTaO3 setelah proses annealing pada suhu 800 oC selama 8 jam merupakan yang terbaik karena perbedaan arus terang-gelap paling besar yang disebabkan energi bandgap yang besar. Struktur kristal LiTaO3 setelah proses annealing pada suhu 800 oC selama 1 jam, 8 jam, 15 jam dan 22 jam adalah rhombohedral. Terbentuk pula puncak LiTaSiO5 yang memiliki struktur kristal monoclinic.