Analisis Struktur Kristal PIZT Menggunakan Metode Gsas

Abstract

GSAS (general structure analysis ,yslem) merupakan sebuah sojtware yang dapat menganalisa secara simuhan semua data yang dihasilkan oleh difraksi sinar-X dan hamburan neutron. Metode GSAS mengacu pada metode penghalusan (rejtnement) berdasarkan anal isis Rietveld. Analisis ini merujuk pada penghalusan struktur dengan cara mencocokan (fitiing) keseluruhan pola difraksi sinar-X dan berguna untuk mendapatkan data struktur mikro secara Iebih akural. Pada penelitian dilakukan penghalusan parameter-parameter struktur sembilan sampel PIZT dengan variasi doping indium dan substrat, didapat indikator keberhasilan R-pola (Rp) pada selang (5,63-10,36)%, R-pola dengan pemberat (wRp) pada selang antara (7,67-15,35)% dan Goodness oj Fil (GoF) pada selang antara 1,036-5,462. Indikatoryang didapat secara fisik dapat ditandai dengan miripnya kurva kalkulasi dengan kurva eksperimen. Pada PIZT serbuk dan PIZT substrat Si diperoleh bahwa PIZT memiliki sistem kristal tetragonal dan unsur Pt (Platina) memiliki sistem kristal kubik. Selain itu didapat nilai parameter kisi hasil penghalusan yang mendekati literatur Jnternalional Cenlre jar Dijraclio/1 Data (ICDD) dan Badan Standardisasi Nasiona!.