KARAKTERISTIK OPTIK DAN KELISTRIKAN FILM TIPIS SrTiO3 DIDADAH RUTENIUM

Abstract

Sintesis dan karakterisasi film tipis SrTiO3 dengan variasi konsentrasi pendadah 0%, 0,5%, dan 1% telah berhasil dilakukan di atas substrat silikon tipep (100) menggunakan metode Chemical Solution Deposition dengan teknik spin coating. Hasil uji sifat optik menunjukkan peningkatan nilai reflektansi pada rentang panjang gelombang 400 – 700 nm dengan penurunan nilai energi band gap dari 3,49 eV menjadi 3,35 eV. Uji sifat listrik menunjukkan bahwa film tipis memiliki karakteristik dioda dan responsif terhadap perubahan intensitas cahaya. Peningkatan konsentrasi pendadah Ru dan intensitas cahaya menyebabkan nilai arus saturasi meningkat dari 0,154 µA menjadi 2,310 µA, sedangkan nilai potensial penghalang menurun dari 0,776 eV menjadi 0,706 eV. Uji sensor cahaya pada film tipis SrTiO3 didadah Ru menunjukkan waktu respon naik yang cepat hingga 0,124 µs dan waktu respon turun hingga 0,143 µs dan ketahanan yang baik terhadap cahaya selama 30 hari.

Synthesis and characterization of SrTiO3 thin film with various concentration of 0%, 0,5%, and 1% Rutenium has been successfully carried out on silicon substrate type-p (100) using the Chemical Solution Deposition method with a spin coating technique. Optical property testing results showed an increase in reflectance values in the wavelength range of 400 – 700 nm with an decreases in the band gap energy value from 3,49 eV to 3,35 eV. Electrical property testing showed that thin film have diode characteristics and responsive to change in the intensity of light. The increase of doped concentration Ru and intensity of light causes the saturation value to also increase from 0,154 µA to 2,310 µA, meanwhile the value of the potential barrier decreases from 0,776 eV to 0,706 eV. Light sensor testing on thin films SrTiO3 doped with Ru showed fast rise response time up to 0,124 and a falling response time up to 0,143 µs and good durability to light for 30 days.