Sintesis dan Karakterisasi Barium Stronsium Titanat Didadah Ruthenium

Abstract

Film tipis berbasis Ba0,25Sr0,75TiO3 didadah Ruthenium dengan variasi konsentrasi pendadah 0%, 0,5%, 1%, 1,5% telah berhasil dibuat di atas substrat silikon (100) tipe-p dan FTO (Fluorine-doped Tin Oxide) menggunakan metode Chemical Solution Deposition dengan teknik spin coating. Ketebalan pada substrat silikon dan FTO menunjukkan perbedaan, yaitu ± 130 nm dengan metode volumetrik, di mana substrat silikon memiliki ketebalan yang lebih tipis dibandingkan substrat FTO. Hasil uji sifat optik menghasilkan energi bandgap yang semakin kecil pada kedua substrat yaitu dari 3,36 menjadi 1,56 eV pada substrat silikon dan 2,12 eV menjadi 1,69 eV pada substrat FTO. Uji sifat kristal menunjukkan struktur kristal berbentuk tetragonal dengan nilai parameter kisi yang semakin naik yaitu a = 4,122 – 4,131 Å dan c = 4,967 – 4,993 Å, kenaikan momen dipol yaitu 1,1800 × 1029 – 1,1853 × 1029 Cm, dan penurunan polarisasi spontan yaitu 14,0138 µC/cm2 menjadi 13,9105 µC/cm2. Konduktivitas listrik mengalami peningkatan untuk setiap variasi pendadah. Pengujian sensor cahaya menunjukkan respon film bersifat fotodioda pada substrat silikon dan fotokonduktif pada substrat FTO.