Implementasi Sensor Ba0.5Sr0.5TiO3 (BST) Yang Didadah RuO2 Sebagai Pendeteksi Dini Diabetes Militus Dengan Metode Non-Invasive Berbasis Hembusan Bau Mulut

Abstract

Film tipis Barium Titanat (BaTiO3) telah berhasil dibuat dengan menggunakan metode Chemical Solution Deposition (CSD) dan Spin Coating. Dalam penelitian ini telah dibuat film BaTiO3 didadah Ru dengan variasi konsentrasi pendadah 0%, 0.5%, dan 1%. Film tipis tersebut dideposisikan di atas substrat silikon tipe-p (100). Film tipis BaTiO3 melalui tahap annealing pada suhu 850

oC ditahan selama 8 jam dengan

kelajuan kenaikan suhu sebesar 1.67

oC/menit, kemudian mengalami proses pendinginan 12 jam. Film tipis

BaTiO3 didadah RuO2 dikarakterisasi sifat listriknya dengan menggunakan I-V meter, dan Space Charge Limited Current (SCLC). Gambar 1 menunjukkan Penampang atas struktur kontak argentum film tipis BaTiO3 didadah Rutenium Struktur MOS (Ag/BTR/Si). Grafik I-V menunjukkan bahwa Struktur MOS (Ag/BTR/Si) memiliki karakteristik dioda dan responsif terhadap perubahan intensitas radiasi cahaya (Gambar 2, Gambar 3, Gambar 4). Peningkatan konsentrasi pendadah Ru menyebabkan nilai saturasi meningkat, sedangkan nilai potensial penghalang menurun. Penambahan konsentrasi pendadah Ru secara linear menyebabkan kenaikan nilai mobilitas elektron (Gambar 5, Gambar 6, Gambar7). Tabel 1 menunjukkan Mobilitas elektron pada Struktur MOS (Ag/BTR/Si). Struktur MOS (Ag/BTR/Si) memiliki sifat kelistrikan dan responsif terhadap cahaya. ...