Pembuatan Film Litium Niobat (LiNbO3) Didadah Variasi Konsentrasi Cerium Oksida (CeO2) Melalui Metode CSD

Abstract

Pembuatan film litium niobat (LiNbO3) telah berhasil dilakukan di atas substrat Si (100) tipe-p dengan metode chemical solution deposition (CSD) dan variasi pendadah CeO2 0%, 2%, 4%, 6% dan konsentrasi larutan perkusor 1M. Pembauatan film ini menggunakan teknik spin coating dengan kecepetan putar 8000 rpm. Film yang sudah jadi di annealing dengan suhu 850 °C dan ditahan selama 8 jam dengan kenaikan 1.67 °C/menit. Energi bandgap film LiNbO3 yang dihasilkan sebesar 3.56 eV sampai 4.14 eV dengan indeks bias 2.21413661 sampai 2.2141669. Karakterisasi menggunakan XRD diperoleh struktur kristal berbentuk heksagonal dengan nilai parameter kisi a sebesar 5.05 Å sampai 5.67 Å dan c sebesar 13.18 Å sampai 15.80 Å. Dari hasil analisa perangkat lunak Mineral Analysis Using Diffraction (MAUD) didapatkan nilai kecocokan Sigma sebesar 1.91% sampai 20.04% dan nilai kecocokan Rexp sebesar 4.62 % sampai 16.92%.