Pengaruh Variasi Konsentasi Pendadah RuO2 Terhadap Struktur Kristal Dan Sifat Optik Dari Film Tipis BaTiO3

Abstract

Pembuatan film tipis BaTiO3 bertujuan menganalisis sifat optik, struktur morfologi spectra XRD, dan citra SEM-EDAX. Film tipis Barium Titanat (BaTiO3) murni dan BaTiO3 dengan variasi pendadah RuO2 2%, 4%, dan 6% yang ditumbuhkan pada silikon tipe-p (100) dengan metode Chemical Solution Deposition (CSD). Film BaTiO3 dan BaRuTiO5 dibuat dalam konsentrasi 2 M. Film tersebut ditumbuhkan dengan tiga kali pelapisan menggunakan teknik spin coating pada kecepatan putar 6000 rpm, 8000 rpm, dan 10000 rpm selama 30 detik. Film kemudian di annealing pada suhu 850 oC selama 8 jam. Film dikarakterisasi menggunakan spektrofotometer UV-Vis untuk mengetahui sifat optik berupa analisis nilai reflektansi, indeks bias dan energy gap. Metode ini memiliki keunggulan dapat mengontrol stokiometri film tipis dengan kualitas yang baik, prosedur yang mudah dan biaya yang relatif murah. Energi band gap berkisar 3.25 sampai 3.27 eV dengan indeks bias 2.7749894 sampai 2.77498944. Film tipis BaTiO3 memiliki parameter kisi a = 4.035 sampai 4.097 Ǻ dan c = 4.043 sampai 4.107 Ǻ serta ukuran kristal berada pada rentang 0.175 μm sampai 0.5 μm.