Pembuatan Film Tipis Barium Titanat ( BaTiO3 ) Didadah Ferium Oksida ( Fe2O3) Menggunakan Metode Chemical Solution Deposition

Abstract

Telah berhasil membuat film tipis Barium Titanat (BaTiO3) di atas substrat Si (100) tipe p dengan metode Chemical Solution Deposotion (CSD) dengan larutan 2 M berbantuan spin coating dengan kecepatan putar 8000 rpm. Film ini di annealing dengan suhu 850 0C ditahan selama 8 jam. Film tipis Barium Titanat (BaTiO3) pada konsentrasi pendadah 0% , 2%, 4%, 6% Ferium Oksida (Fe2O3) dikarakterisasi sifat optik, XRD , SEM, EDX sehingga menghasilkan energy gap berturut-turut sebesar 3.6 eV, 3.36 eV, 3.28 eV, 2.75 eV. Diperoleh parameter kisi sebesar a = b = 4.034165 Å dan c = 4.027978 Å ; a = b = 4.051396 Å dan c = 4.051422 Å ; a = b = 4.020782 Å dan c = 4.015575 Å ; a = b = 4.062769 Å dan c = 4.067526 Å sehingga struktur kristalnya berbentuk tetragonal , dengan rata-rata ukuran kristal nya sebesar 0.2614, 0.2056, 0.3288, 0.3268 dalam satuan μm.