Pengaruh Variasi Konsentrasi Pendadah RuO2 dan Suhu Annealing Terhadap Sifat Optik, Kristal, dan Morfologi Permukaan Film LiNbO3.

Abstract

Lithium Niobat (LiNbO3) dapat diaplikasikan sebagai pelapis film tipis karena memiliki sifat piezoelektrik, optoelektronik, piroelektrik, dan fotorefraktif yang unggul. Penumbuhan film tipis LiNbO3 menggunakan metode Chemical Solution Deposition (CSD) dengan teknik spin coating berkecepatan 8000 rpm selama 30 detik diatas substrat silikon tipe-p (100) dengan variasi konsentrasi pendadah RuO2 (0%, 2%, 4%, 6%) dan suhu annealing (750 oC, 800 oC, 850 oC). Suhu annealing ditahan kosntan selama 8 jam dengan kenaikan 1.67 oC/menit. Energi bandgap film LiNbO3 yang dihasilkan sebesar 2.55 eV sampai 3.18 eV dengan indeks bias berkisar 1.15 sampai 1.65. Berdasarkan hasil XRD diperoleh struktur kristal berbentuk heksagonal (α = β = 90o dan γ = 120o) dengan nilai parameter kisi a sebesar 5.3856 Å sampai 5.6566 Å dan c sebesar 15.4054 Å sampai 17.8404 Å. Dari hasil SEM diperoleh ukuran kristal film LiNbO3 dengan pendadah 0%, 2%, 4% dan 6% masing-masing sebesar 0.258 μm, 0.285 μm, 0.295 μm, dan 0.360 μm.