Pembuatan dan Karakterisasi Film Litium Niobat dengan Variasi Molaritas Pelarut.

Abstract

Telah dilakukan penumbuhan film litium niobat (LiNbO3) di atas substrat Si(100) tipe-p dengan variasi molaritas menggunakan metode Chemical Solution Deposition (CSD) berbantu spin coating berkecepatan 8000 rpm selama 30 detik pada kemolaran 1 M, 2 M, 3 M, dan 4 M. Film di annealing pada suhu 8500C selama 8 jam. Penentuan ketebalan lapisan tipis dengan metode volumetrik, uji sifat optik dengan spektroskopi UV-Vis, dan struktur kristal dengan X-ray diffraction (XRD). Hasil karakterisasi optik menunjukkan energy bandgap LiNbO3 dengan variasi molar 1 M, 2 M, 3 M, dan 4 M berturut-turut adalah 3.22 eV, 3.17 eV, 2.45 eV, dan 3.07 eV. Pengaruh dari jumlah mol tersebut terhadap struktur kristal dan parameter kisi film LiNbO3 diuji menggunakan X-ray diffraction (XRD). Hasil uji berdasarkan data XRD menunjukkan bahwa sampel film LiNbO3 merupakan kristal dengan struktur heksagonal. Pola puncak difraksi yang dominan yaitu (104), (202), (125), dan (131) serta pola puncak lainnya yang terindentifikasi adalah (021). Parameter kisi yang didapat berkisar antara a=(5.6346 -6.1558) Å dan c=(17.7140-17.9122) Å.