Struktur Kristal dan Sifat Optik Lapisan Tipis Ba0.55Sr0.45TiO3 didadah Litium Oksida dengan Metode Chemical Solution Deposition

Abstract

Telah dilakukan penumbuhan film tipis Barium Strontium Titanat (Ba0.55Sr0.45TiO3) murni dan BST yang didadah Litium Oksida Li2O (BSLT) dengan variasi pendadah 0%, 1%, 3% dan 5% di atas substrat Si(111) tipe-p dengan menggunakan metode Chemical Solution Deposition (CSD) dengan teknik spin coating pada kecepatan putar 3000 rpm selama 30 detik. Film Tipis BST dibuat dengan konsentrasi 1M dan annealing pada suhu 850°C untuk substrat Si(111). Hasil karakterisasi menggunakan XRD diuraikan dalam bentuk grafik hubungan antara intensitas terhadap sudut 2 theta. Pola difraksi XRD Ba0.55Sr0.45TiO3 diketahui memiliki beberapa puncak. Material Ba0.55Sr0.45TiO3 berbentuk kristalin dengan struktur kubus, dengan besar parameter kisi 4.061 Å. Hasil uji sifat optik menunjukkan bahwa pendadahan mempengaruhi nilai energy gap BST dan semakin besar komposisi litium (Li) yang digunakan maka semakin besar indeks bias yang dihasilkan. Pendadahan Li2O menaikkan konstanta dielektrik film.