Uji Sifat Listrik Fotoresistor Berbasis Film Piroelektrik Litium Tantalat (Litao3) Didadah Ferium Oksida

Abstract

Telah dilakukan penumbuhan film LT (LiTaO3) dan LFT (LiFe2TaO3) dengan di atas substrat Si(100) tipe-p dengan menggunakan metode chemical solution deposition (CSD) dengan teknik spin coating dan annealing pada suhu 850oC selama 6,5 jam. Karakterisasi menggunakan metode volumetrik pada dua macam sampel diperoleh ketebalan sampel sekitar 5000–13400 nm. Karakterisasi arus-tegangan menggunakan I-V meter menunjukkan bahwa sample film LT dan LFT bersifat resistor. Karakterisasi menggunakan osiloskop dan function generator menunjukkan bahwa kedua sampel LT dan LFT mempunyai konstanta dielektrik sebesar 74,83 dan 128,18. Nilai Konduktivitas listrik film LT dan LFT didapatkan pada rentang material isolator dan didapatkan nilai konduktivitas film LFT lebih kecil dibandingkan dengan film LT. Adanya pendadah Fe yang diberikan pada film menurunkan nilai konduktivitasnya. Piroelektrik yang didapat untuk film LT dan LFT berbeda, dimana koefisien piroelektrik LT lebih besar 7 kali dibandingkan dengan LFT.