Uji Sifat Listrik Film Tipis Bst Dengan Berbagai Konsentrasi Pelarut

Abstract

Film tipis Ba0.25Sr0.75TiO3 (BST) pada Si tipe-p menggunakan metode Chemical Solution Deposition (CSD). Karakteristik film tipis Ba0.25Sr0.75TiO3 oleh LCZ meter model 2343 NF, sumber arus keithley 617, spektrofotometer, hasil osiloskop pada rangkaian seri sampel-resistor. Kondisi penumbuhan BST pada Si tipe-p menggunakan spin coating dengan kecepatan putar 3000 rpm selama 30 detik, setelah spin coating maka proses selanjutnya adalah pemanggangan dalam furnace model nabertherm Type 27 pada suhu 850 ˚C selama 15 jam. Pengukuran konduktivitas menggunakan alat LCZ meter Model 2343 NF. Perhitungan konstanta dielektrik dengan menggunakan power supply, Osiloskop, resistor dengan hambatan 100.000 Ω, dan, komputer. Power supply di set menggunakan sinyal kotak-kotak dengan tegangan 10 V peak-to-peak dan frekuensi 1 KHz. Karakterisasi kurva I-V menggunakan alat Keithley 617. Pengukuran reflektansi menggunakan alat spectrasuit spectrophotometer.