Uji Sifat Listrik Film Tipis Ferroelektrik Litium Tantalat (LiTaO3) Didadah Niobium Pentaoksida (Nb2O5) Menggunakan Metode Chemical Solution Deposition

Abstract

Telah dilakukan penumbuhan film tipis LiTaO3 (LT) dan LiTaO3 yang didadah Niobium Pentaoksida Nb2O5 (LNT) dengan variasi pendadah 2,5%, 5%, dan 7,5% diatas substrat Si (100) tipe-p dengan menggunakan metode chemical solution deposition (CSD) dengan teknik spin coating pada kecepatan putar 3000 rpm selama 30 detik. Film tipis LiTaO3 dibuat dengan konsentrasi 1 M dan annealing pada suhu 850oC untuk substrat Si. Film tipis diatas substrat silikon tipe-p dilakukan karakterisasi XRD, absorbansi, reflektansi, transmitansi, I-V, konduktansi, dan konstanta dielektrik. Hasil karakterisasi konduktivitas film tipis LT dan LNT berada pada rentang material semikonduktor. Konstanta dielektrik yang terdapat pada film tipis diatas substrat silikon tipe-p bervariasi sesuai dengan penambahan pendadahan yang digunakan yaitu 2,5%, 5%,7,5%. Pada karakterisasi kurva I-V menghasilkan film tipis LT, LNT 2,5% dan LNT 5% bersifat dioda, sedangkan LNT 7,5% bersifat resistor. Pada karakterisasi absorbansi, reflektansi, dan transmitansi terjadi pada panjang gelombang 360 nm atau pada sinar UV. Dan karakterisasi XRD menghasilkan bentuk Kristal.