Sifat ferroelektrik film tipis Ba1-y/2(Ti1-yTay)O3(BTT)

Abstract

Telah berhasil ditumbuhkan film tipis Ba1-y/2(Ti1-yTay)O3 (BTT) dengan metode chemical solution deposition (CSD). Digunakan spin coating dengan kecepatan putar 3000 rpm dalam waktu 30 detik, dilakukan 5 kali pelapisan. Penumbuhan film tipis BTT dilakukan diatas substrat Pt(200)/SiO2/Si(100) dan Si (100) tipe-p, dilakukan annealing pada suhu 900oC, 950 oC dan 1000 oC. Uji sifat ferroelektrik dilakukan dengan alat Radiant Technology model RT 66 A. Film tipis dengan sifat ferroelektrik yang terbaik adalah untuk penumbuhan film tipis BTT diatas substrat Pt(200)/SiO2/Si(100) untuk suhu annealing 1000oC dengan nilai polarisasi remanen, polarisasi saturasi dan medan koersif masing-mas ing 1,4709mC/cm2, 5,5970mC/cm2, dan 2,9832kV/cm. Kata kunci : ferroelektrik, CSD, BTT