Penumbuhan Film Tipis Tij.xCoxO2 dengan Metode Metalorganic Chemical Vapor Deposition (MOCVD)

Abstract

Perkembangan elektronika maju sangat pesat dan telah menjadi tulang punggung dalam dunia modern. Kemajuan sangat cepat terjadi setelah ditemukannya komponen semikonduktor dalam bentuk zat padat yang memberikan banyak sifat listrik yang unik dan dapat memecahkan semua persoalan sistem elektronika. Dengan semikonduktor, komponen elektronika menjadi sangat atraktif, sangat kompak dan mempunyai kepadatan rangkaian yang sangat tinggi. ditemukannya Teknologi pembuatan semikonduktor meliputi penumbuhan kristal tunggal, cara pemurnian, cara pengolahan permukaan hingga mengenai bahan kontak yang sesuai agar penyambungan antara kristal dengan logam terminal tidak menimbulkan gejala rektifikasi. Elektronika digunakan untuk membentuk peralatan yang berguna bagi manusia, yaitu dilakukan dengan cara mengendalikan sifat-sifat elektron dalam zat padat, zat cair dan gas-gas (Rio 1982). material Penelitian terhadap semikonduktor feromagnetik pada saat ini mendapat banyak perhatian (Dietl dan Ohno 2003). Hal ini didorong oleh potensi aplikasinya yang sangat luas. Semikonduktor feromagnetik digunakan sebagai komponen penyusun dalam pembuatan divais spin-elektronik (spintronik) (Chambers dan Yoo 2003). ...