Uji sifat listrik dan sifat optik film tipis BaxSr1-xTiO3 (BST) yang dibuat dengan metode chemical solution deposition

Abstract

Telah dilakukan penumbuhan film tipis Ba,SrTiO3 (BST) di atas substrat Si (100) tipe-p. Metode yang digunakan adalah metode chemical solution deposition (CSD) dengan teknik spin coating pada kecepatan putar 3000 rpm dalam waktu 30 detik. Pelapisan dilakukan hanya 3 lapisan untuk setiap substrat. Dibuat film tipis BST dengan variasi fraksi mol Barium (x=0.35, 0.40, 0.45) dan annealing pada suhu 850°. Hasil penelitian menunjukkan bahwa Film tipis BST merupakan bahan semikonduktor karena mempunyai nilai konduktivitas listrik antara 103 - 10 S/cm. Konduktivitas listrik film tipis akan semakin besar apabila intensitas penerangan lampu semakin tinggi. Nilai konstanta dielektrik akan semakin besar dengan semakin besarnya perubahan nilai fraksi mol Barium. Film tipis Bao.75 Sro,25 TiO3 (BST) yang telah ditumbuhi di atas Si tipe-p dapat berfungsi sebagai fotodioda.