Pembuatan dan Karakterisasi Film Barium Stronsium Titanat Didadah dengan Carbon Dot

Abstract

Film Barium Stronsium Titanat (BaSrTiO3) yang didadah carbon dot dengan variasi pendadah 0%, 2%, 4%, 6% menggunakan metode CSD dengan bantuan spin coating dengan kecepatan putar 8000 rpm telah berhasil dibuat diatas substrat silikon tipe-p 100. Film ini di annealing dengan suhu 850 °C dan ditahan selama 8 jam. Film BaSrTiO3 pada konsentrasi pendadah 0%, 2%, 4%, 6% carbon dot dikarakterisasi UV-VIS, XRD, SEM-EDX sehingga menghasilkan energi bandgap secara berurutan sebesar 2.72 eV; 2.85 eV; 3.7 eV dan 3.8 eV. Hasil karakterisasi XRD menunjukkan bahwa struktur kisi BaSrTiO3 adalah kubus dengan parameter kisi a=b=c secara berurutan sebesar 4.066945 Å ; 4.06868 Å ; 4.072155 Å dan 4.077379 Å. Hasil karakterisasi SEM-EDX menunjukkan bahwa pada morfologi permukaan film BaSrTiO3 ukuran butirnya cukup homogen dan didapatkan komposisi atom yang sesuai yaitu Ba, Sr, Ti, O, dan C.