Karakterisasi Film Litium Tantalat (LiTaO3) terhadap Variasi Konsentrasi Pendadah Rutenium Oksida (RuO2).

Abstract

Salah satu material feroelektrik yang memiliki potensi besar untuk dikembangkan yaitu film LiTaO3. Telah berhasil dibuat film LiTaO3 dengan variasi konsentrasi pendadah RuO2 0%, 2%, 4%, dan 6% menggunakan metode CSD (Chemical Solution Deposition) dengan teknik spin coating berkecepatan putar 8000 rpm dan suhu annealing 850o C. Sampel dikarakterisasi menggunakan Spektrofotometer UV-Vis, SEM, XRD, dan EDX. Sehingga didapatkan ketebalan film pada konsentrasi pendadah 0%, 2%, 4%, dan 6% masing-masing sebesar 0.2681 μm, 0.2234 μm, 0.2234 μm, dan 0.5078 μm dengan energi bandgap sebesar 2.38 eV, 2.29 eV, 2.04 eV, dan 2.47 eV. Diperoleh nilai parameter kisi a = 5.098961 Å dan c = 14.316897 Å (0% RuO2), a = 5.065135 Å dan c = 14.058488 Å (2% RuO2), a = 5.069937 Å dan c = 114.275256 Å (4% RuO2), serta a = 5.058727 Å dan c = 14.253829 Å (6% RuO2) sehingga struktur kristalnya berbentuk heksagonal (α = β = 90o dan γ = 120o) dengan ukuran kristal untuk masing-masing film sebesar 0.258 μm, 0.285 μm, 0.295 μm, dan 0.36 μm.