SENSOR SUHU BERBASIS BAHAN FERROELEKTRIK FILM Ba0,55Sr0,45TiO3 (BST) BERBANTUKAN MIKROKONTROLER ATMEGA 8535

Abstract

Telah dilakukan penumbuhan film Ba0,55Sr0,45TiO3 (BST) di atas substrat silikon (100) tipe-p dengan dua perlakuan pada substrat yaitu enhancement (tanpa substrat dipanaskan) dan depletion ( substrat dipanaskan terlebih dahulu pada suhu 800 oC selama 15 jam sebelum ditetesi larutan BST) dengan metode Chemical Solution Deposition (CSD) dan spin coating pada kecepatan putar 3000 rpm selama 30 detik. Film di atas substrat kemudian dipanaskan pada suhu 800oC, 850oC dan 900oC selama 15 jam. Film BST yang diperoleh dikarakterisasi rentang nilai, sensitivitas, resolusi, tingkat akurasi dan histerisis. Film BST enhancement 850 oC (film terbaik) digunakan sebagai sensor suhu untuk membaca perubahan lingkungan (dalam hal ini suhu) berbantukan mikrokontroler ATMega8535. Keluaran berupa tegangan yang dihasilkan dikuatkan dengan rangkaian penguat diferensial dan penguat noninverting. Selanjutnya keluaran tegangan analog diolah menjadi data digital pada Analog Digital Converter (ADC) internal ATMega8535. Data digital diolah oleh mikrokontroler. Liquid Crystal Display (LCD) berukuran 16x2 menampilkan perubahan tegangan dalam satuan derajat celcius (oC) ketika film BST diberikan rangsangan suhu.