UJI SIFAT ELEKTRONIK FILM BaxSr1-xTiO3 DENGAN METODE WERNER

Abstract

Pada studi ini, Film BST telah dibuat pada substrat silikon tipe p menggunakan metode chemical solution deposition (CSD) dan kemudian diannealing pada suhu 850oC selama 15 jam. Selanjutnya dibuat kontak. Pengukuran sifat listrik menggunakan source meter dan kemudian dianalisis menggunakan metode werner untuk mendapatkan nilai hambatan seri dan faktor idealitas. Selanjutnya nilai hambatan seri digunakan untuk mengoreksi data tegangan(Vd). Kemudian dilakukan analisis terhadap hubungan Vd - Ln I untuk menghasilkan arus saturasi, potensial penghalang dan faktor idealitas. Peningkatan fraksi mol Ba meningkatkan nilai arus saturasi dan menurunkan nilai hambatan seri, faktor idealitas dan potensial penghalang.