Uji sifat optik film tipis tantalum oksida (ta2o5) yang ditumbuhkan dengan metode spin coating

Abstract

Telah disain rancang bangun spin coating (karya sendiri) dengan tegangan keluaran menggunakan sistem digital. Nama spin coating hasil rancang bangun ini adalah “Portable Spin Coating Type 2004”. Sesuai namanya, alat ini dapat dibawa-bawa karena sangat ringan dan kecil serta menjadikan spin coating ini lebih diunggulkan daripada spin coating terdahulu dalam biaya operasional, biaya produksi dan keefisienan bentuk. Sumber arus 220 V AC, untuk menggerakkan atau memutar “disk” sebagai spin coating dibutuhkan “step down trafo” 1 A dengan tegangan keluaran berdasarkan sistem digital. Tegangan keluaran sebesar masing-masing 7 V, 9 V dan 12 V yang dihubungkan dengan potensio, diode dan kapasitor, sehingga menghasilkan putaran pada spin coating sekitar 3480 rpm, 4380 rpm dan 5840 rpm. Uji akurat mengenai kecepatan putar dilakukan dengan alat troboskop. Berarti pula rancang bangun ini kelak dapat ditumbuhkan film tipis sampai dengan kecepatan putar sebesar 6000 rpm. Rancang bangun ini sangat murah dan mudah diproduksi karena menggunakan bahan yang ada di dalam negeri dan sangat banyak di pasaran. Rancang bangun ini bertujuan untuk memperoleh nilai tambah dan menekan biaya operasional serta pada akhirnya jika memungkinkan untuk diajukan paten atau HAKI.