Pembuatan dan Karakterisasi Film Ba0,4Sr0,6Ti03 Dibandingkan Dengan Film Ba0,5Sr0,5Ti03

Abstract

Penelitian dengan menggunakan film Bao 4Sr0,6 TiO3 (BST) dibandingkan dengan film 2 Ba0,5Sr0,5 T103 berdasarkan karakterisasi sifat optik, listrik, dan sensitifitas dengan metode yang sama yaitu sol gel dengan teknik spin coating pada kecepatan putar 3000 rpm selama 30 detik. Proses pembuatan fotodioda Bao, 4Sr0.6Ti03 dengan menumbuhkannya di permukaan substrat Si(100) type-p pada konsentrasi 1 M dan proses annealing pada variasi suhu yaitu 800°C, 850°C, 900°C dengan waktu masing-masing 15 jam. Karakterisasi I-V dilakukan pada kondisi terang dan gelap dengan filter warna hijau, kuning dan merah. Hasil yang diperoleh menunjukkan bahwa film bersifat fotodioda. Konduktivitas listrik (o) dengan variasi suhu 800°C, 850°C, 900°C berturut-turut yaitu 0,36 x 10 S/m, 3,77 x 10 S/m, 50,25 x 10-5 S/m. Nilai o tersebut berada dalam rentang o semikonduktor, sehingga film BST yang dihasilkan merupakan material semikonduktor sedangkan pada karakterisasi konstanta dielektrik (2) dengan variasi tegangan yaitu 1 volt, 2 volt dan 5 volt yang masing-masing pada suhu 800°C, 850°C. 900°C dapat disimpulkan bahwa konstanta dielektrik bahan semakin besar akibat bertambahnya tegangan. Karakteristik sifat optik dilakukan pada pengukuran absorbansi dan reflektansi film. Pada suhu 800°C, 850°C, 900°C berdasarkan kurva absorbansi yang diperoleh memperlihatkan panjang gelombang yang paling banyak diserap dan dipantulkan berturut-turut yaitu berkisar 340-430 nm, 345-520 nm, 340-1020 nm. H コ 5