Struktur kristal dan sifat listrik film Ba0.55Sr0.45TiO3 dengan variasi pendadahan La2O3

Abstract

Telah dibuat film Ba0.55Sr0.45 TiO3 di atas substrat Silikon (1 1 1) tipe-n dengan menggunakan metode Chemical Solution Deposition dan spin coating berkecepatan 3000 rpm selama 30 detik dalam kelarutan 1 M dengan variasi pendadahan La2O3 sebesar 0%, 1%, 3%, dan 5%. Annealing dilakukan pada suhu 850 °C selama 15 jam dengan laju kenaikan 1.67 °C/menit. Karakterisasi struktur berupa pengujian XRD dilakukan pada sampel pendadahan 3%. Puncak-puncak difraksi sinar-X menunjukkan partikel film memiliki distribusi orientasi kristal. Struktur kristal BST berbentuk tetragonal. Sedangkan hasil uji sifat listrik menunjukkan karakteristik film tipis BST termasuk material semikonduktor yang memiliki sifat kapasitor. Pendadahan La2O3 menaikkan konstanta dielektrik film.