Penerapan film tipis Ba0,25Sr0,75TiO3 (BST) yang didadah ferium oksida sebagai sensor suhu berbantukan mikrokontroler

Abstract

Material ferroelektrik yang berasal dari Barium Stronsium Titanat (BST), diharapkan akan memiliki energi yang tinggi karena memiliki konstanta dielektrik dan kapasitas penyimpanan muatan yang tinggi [1]. Material yang dihasilkan dari proses pendadahan BST terhadap ferium ini, diharapkan akan menjadi sensor suhu. Ketika material BST dan BFST (Barium Ferium Stronsium Titanat) dikenai suhu (dalam kata lain, material mengalami perubahan suhu), maka material tersebut menghasilkan beda potensial, dan material ini dapat diaplikasikan sebagai sensor suhu berbasis mikrokontroler. Mikrokontroler yang digunakan ialah ATmega8535 yang sudah terdapat Analog Digital Converter (ADC) internal. Beda potensial yang dihasilkan akan dikuatkan dengan penguat tegangan (OpAmp) dan akan diolah menjadi data digital pada ADC internal ATmega8535. Data digital yang masuk akan diolah Mikrokontroler dan ditampilkan dalam tampilan aplikasi desktop berbasis Delphi 7. Material yang diujikan ialah material BST, BFST 5%, dan BFST 15%.