| dc.description.abstract | Barium Titanat (BaTiO3) merupakan material ferroelektrik sekaligus
piezoelektrik yang unggul. Film barium titanat berhasil dibuat dengan variasi
konsentrasi pendadah CeO2 0%, 2%, 4%, 6% menggunakan metode Chemical
Solution Deposition (CSD) dengan proses annealing pada suhu 550 °C selama
23.5 jam dan teknik spin coating dengan kecepatan 8000 rpm. Hasil uji sifat
kristal menunjukkan bahwa parameter kisi pada konsentrasi 0%, 2%, 4%, 6%
pendadah CeO2 secara berurutan a = b = 4.0491 Å dan c = 4.0258 Å; a = b =
4.0627 Å dan c = 4.0355 Å; a = b = 4.0549 Å dan c = 4.0249 Å; a = b = 4.0547 Å
dan c = 4.0385 Å sehingga struktur kristalnya berbentuk tetragonal. Hasil uji sifat
optik menghasilkan indeks bias secara berturut turut 1.4842, 1.4508, 1.4917,
1.5175. Hasil uji respon piezoelektrik mendapatkan nilai konstanta tegangan
piezoelektrik pada rentang 33.3322 Vm/N sampai 43.1052 Vm/N, konstanta
muatan piezoelektrik pada rentang 1.4700 x 10-7 C/N sampai 1.9074 x 10-7 C/N
dan regangan mekanik pada rentang 166.0147 sampai 329.1333. Berdasarkan
hasil karakterisasi dan pengujian, film BaTiO3 didadah CeO2 memiliki potensi
untuk dikembangkan sebagai sensor piezoelektrik. | id |
