Karakterisasi Optik dan Uji Respon Piezoelektrik Film BaCexTi1-xO3.

Abstract

Barium Titanat (BaTiO3) merupakan material ferroelektrik sekaligus piezoelektrik yang unggul. Film barium titanat berhasil dibuat dengan variasi konsentrasi pendadah CeO2 0%, 2%, 4%, 6% menggunakan metode Chemical Solution Deposition (CSD) dengan proses annealing pada suhu 550 °C selama 23.5 jam dan teknik spin coating dengan kecepatan 8000 rpm. Hasil uji sifat kristal menunjukkan bahwa parameter kisi pada konsentrasi 0%, 2%, 4%, 6% pendadah CeO2 secara berurutan a = b = 4.0491 Å dan c = 4.0258 Å; a = b = 4.0627 Å dan c = 4.0355 Å; a = b = 4.0549 Å dan c = 4.0249 Å; a = b = 4.0547 Å dan c = 4.0385 Å sehingga struktur kristalnya berbentuk tetragonal. Hasil uji sifat optik menghasilkan indeks bias secara berturut turut 1.4842, 1.4508, 1.4917, 1.5175. Hasil uji respon piezoelektrik mendapatkan nilai konstanta tegangan piezoelektrik pada rentang 33.3322 Vm/N sampai 43.1052 Vm/N, konstanta muatan piezoelektrik pada rentang 1.4700 x 10-7 C/N sampai 1.9074 x 10-7 C/N dan regangan mekanik pada rentang 166.0147 sampai 329.1333. Berdasarkan hasil karakterisasi dan pengujian, film BaTiO3 didadah CeO2 memiliki potensi untuk dikembangkan sebagai sensor piezoelektrik.