Karakterisasi Struktur Kristal dan Optik Film BaTiO3 didadah Rutenium

Abstract

Sintesis dan karakterisasi film tipis BaTiO3 dengan variasi konsentrasi pendadah Rutenium 0%; 0,5%; dan 1% telah berhasil dilakukan menggunakan metode Chemical Solution Deposition. Film BaTiO3 yang dibuat dalam konsentrasi 2M ditumbuhkan dengan teknik spin coating dalam lima kali pelapisan dengan kecepatan putar 3000 rpm selama 30 detik dan melalui proses annealing selama 8 jam pada suhu 850°C. Film tipis BaTiO3 dikarakterisasi dengan XRD, UV-Vis dan FTIR untuk menganalisis struktur kristal dan sifat optik sampel. Hasil karakterisasi XRD dengan metode Cramer- cohen dan software MAUD menunjukkan bahwa parameter kisi semakin berkurang dan struktur kristal tetap berbentuk tetragonal. Karakterisasi spektrofotometer UV-Vis menunjukan peningkatan nilai reflektansi pada rentang panjang gelombang 380 - 600 nm dengan peningkatan nilai energi bandgap dari analisis Kubelka-Munk untuk direct bandgap sebesar 2,41 eV, 3,37 eV dan 3,42 eV. Kemudian karakterisasi spektroskopi FTIR mengadopsi relasi Kramers-Kronig diperoleh indeks bias (n), koefisien extinction (k) dan parameter dielektrik bagian real (ε1) juga bagian imajiner (ε2) pada bilangan gelombang dengan penambahan pendadah Rutenium memperkecil medan listrik dan menyebabkan penurunan nilai moda optik TO dan LO yang memengaruhi konstanta optik sampel.

Synthesis and characterization of BaTiO3 thin films with various concentrations of 0%; 0,5%; and 1% ruthenium scavenger has been successfully carried out using the Chemical Solution Deposition method. The BaTiO3 film prepared in a concentration of 2M was grown using the spin coating technique in five layers with a rotational speed of 3000 rpm for 30 seconds and annealed for 8 hours at 850°C. BaTiO3 thin films were characterized by XRD, UV-Vis and FTIR to analyze the crystal structure and optical properties of the samples. The results of the XRD characterization using the Cramer- Cohen method and MAUD software show that the lattice parameters decrease and the crystal structure remains tetragonal. Characterization of the UV-Vis spectrophotometer shows an increase in reflectance values in the wavelength range of 380-600 nm with an increase in the bandgap energy value from the Kubelka-Munk analysis for direct bandgap of 2,41 eV, 3,37 eV and 3,42 eV. Then the FTIR spectroscopic characterization adopts the Kramers-Kronig relation obtained refractive index (n), extinction coefficient (k) and the dielectric parameters of the real part (ε1) as well as imaginary part (ε2) in wave numbers with the addition of ruthenium divider reduce the electric field and causes a decrease in moda value optical TO and LO which affect the optical constant of the sample.