Uji Sifat Optik dan Listrik Film Tipis Stronsium Titanat (SrTiO3) Didadah Lantanum Oksida (La2O3) dengan Variasi Pendadah 0%, 2%, 4%, dan 6%.

Abstract

Film tipis Stronsium titanat (SrTiO3) telah berhasil dibuat dengan menggunakan metode Chemical Solution Deposition (CSD) dan Spin Coating. Dalam penelitian ini telah dibuat film tipis Stronsium titanat (SrTiO3) didadah Lantanum oksida (La2O3) dengan variasi pendadah 0%, 2%, 4%, dan 6%. Film tipis tersebut ditumbuhkan di atas substrat silikon tipe-p (100). Film tipis SrTiO3 melalui tahap annealing pada subu 850ºC ditahan selama 8 jam dengan kelajuan kenaikan suhu sebesar 1,67 ºC/menit, kemudian mengalami proses pendinginan 12 jam. Film tipis SrTiO3 didadah La2O3 (0%, 2%, 4%, 6%) dikarakterisasi sifat optiknya dengan menggunakan Spektrofotometer UV-Vis dan sifat listriknya dengan menggunakan LCR meter. Energi bandgap yang dihasilkan film tipis yang dibuat pada penelitian ini secara berurutan adalah 3,48 eV; 3,23 eV; 3,75 eV; dan 3,18 eV. Nilai konduktivitas film tipis SrTiO3 mengalami kenaikan siring dengan bertambahnya intensitas cahaya yang diberikan. Uji sensitivitas film tipis menghasilkan nilai perubahan tegangan (respons) yang dihasilkan menurun seiring dengan berkurangnya konsentrasi pendadah.