Sintesis Film Tipis SrTiO3 yang didadah CeO2 dan Analisis Rietveld Menggunakan Perangkat Lunak MAUD.

Abstract

Material feroelektrik yang memiliki potensi besar untuk dikembangkan salah satunya yaitu film SrTiO3. Film SrTiO3 telah berhasil dibuat dengan penambahan variasi konsentrasi pendadah CeO2 sebanyak 0%, 2%, 4%, 6% menggunakan metode Chemical Solution Deposition dengan teknik spin coating berkecepatan putar 8000 rpm dan suhu annealing 850 oC selama 8 jam dengan kenaikan suhu 1.67 oC/menit. Sampel dikarakterisasi menggunakan Spektrofotometer UV-Vis dan XRD. Ketebalan dari film SrTiO3 yang dihasilkan yaitu 1.128 m hingga 1.540 m. Energi celah pita yang dihasilkan berkisar antara 3.28 eV hingga 3.45 eV. Parameter kisi yang dihasilkan yaitu 3.909 Å sampai 3.951 Å sehingga struktur kristalnya berbentuk kubus (α = β = γ = 90o) dengan ukuran kristalit sebesar 869.520 Å-915.632 Å. Hasil karakterisasi menggunakan X-Ray Diffractometer dianalisis dengan Rietveld refinement menggunakan perangkat lunak MAUD yang menghasilkan perbandingan grafik difraksi hasil penelitian dengan grafik difraksi dari literatur, parameter kecocokan antara kedua grafik, nilai parameter kisi serta visualisasi struktur SrTiO3 yang berbentuk kubus yang unit selnya semakin tertekan saat SrTiO3 ditambahkan pendadah CeO2